Aera FC-R7700系列Hitachi Metals日立金屬質量流量控制器
Aera MFC FC-R7700 系列的特點高速響應─輸入設定值后2秒內流量穩定彈性體（橡膠）密封件VCR、VCO 和 Swagelok 兼容連接滿量程流量范圍從 10sccm 到 200slm常閉或常開電磁控制閥外部泄漏率 1x10-7Pa?m3/sec (He) 以下
Aera MFC FC-R7700 系列的特點
高速響應─輸入設定值后2秒內流量穩定
彈性體（橡膠）密封件
VCR、VCO 和 Swagelok 兼容連接
滿量程流量范圍從 10sccm 到 200slm
常閉或常開電磁控制閥
外部泄漏率 1x10-7Pa?m3/sec (He) 以下
