Aera FC-R7800系列金屬密封型Hitachi Metals日立金屬質量流量控制器
Hitachi Metals Aera? FC-R7800 系列提供精確的流量控制以及金屬密封件的耐腐蝕性和高泄漏完整性，適合大多數氣體控制應用。
Aera MFC FC-R7800 系列的特點
高速響應 - 輸入設定值后，流量在 1 秒內穩定
耐腐蝕設計
使用金屬密封
VCR 兼容連接
滿量程流量范圍從 10sccm 到 200slm
常閉或常開電磁控制閥
外部泄漏率 1x10-11Pa?m3/sec (He) 以下
